美國進口CAT-O3催化臭氧破壞器

CAT-O3系列臭氧破壞器能夠安全地分解高濃度臭氧到遠遠低于推薦安全臭氧濃度的亞ppm濃度級。儀器使用金屬氧化物被動催化臭氧轉化為氧氣。 

應用

化學氣相沉積(CVD) 硅酸乙酯/臭氧(TEOS/O3)

原子層沉積(ALD)

有機金屬化合物化學氣相沉積（MOCVD）

灰化(Ashers)

濕法處理流程(Wet Benches)

噴涂工具

參數

型號： CAT-O3-E CAT-O3-F CAT-O3-G

應用： 催化破壞臭氧

運行原理： 催化

催化劑： 二氧化錳基的化合物

出口濃度 ：<0.01 ppm (遠遠低于OSHA要求)

材料 ：鋁和不銹鋼接頭

 處理能力 (上限) ：20 SLPM @ 340 g/Nm3 36 SLPM @ 340 g/Nm3 88 SLPM@ 200 g/Nm3

入口/出口： ?” 不銹鋼管 ?” 不銹鋼管 ?” 不銹鋼管

 可選其他接口

外部容器尺寸 英寸 毫米 英寸 毫米 英寸 毫米

 長度 17.00 431.80 25.50 640.08 23.28 591.30

 直徑 4.00 101.60 4.00 101.60 7.00 177.80

 覆蓋 (高度) 5.13 130.30 5.13 130.30 7.38 187.50

外界溫度： 低于30°C

維護： 無

壽命： 3 到 5 年或更長

加熱器選配： 可用于濕法處理尾氣應用中

保修 ：1 年