使用470監測半導體濕式工作臺中的溶解臭氧濃度
臭氧是一種多功能氧化劑，通常用于半導體濕式工作臺的清潔，顆粒和光刻膠去除。在這些應用中使用臭氧有幾個優點，包括:減少有害化學品的使用，如氫氟酸，更大限度地減少在上述過程中使用的典型化學廢物，提高清潔和效率。隨著半導體晶圓結構復雜性的增加，臭氧的使用將繼續在這些晶圓的制造過程中發揮重要作用。為了充分發揮其潛在優勢，重要的是能夠測量過程中存在或注入的臭氧濃度。因此，需要在線臭氧濃度監測器來仔細控制液體中溶解臭氧的量。
Teledyne API (TAPI) 470溶解臭氧分析儀非常適合這一要求，因為它的設計考慮到了半導體市場的需求。
圖1:470型溶解臭氧分析儀
直列式傳感器
470的設計是一種直列式傳感器，只需很少的維護，可以無縫集成到濕式工作臺系統中。
在線監測溶解臭氧濃度是首選的測量方法，而不是滑動流或側流監測。滑移流或側流監測需要額外的閥門、管道和傳感器，這些閥門、管道和傳感器可能會在濕式實驗臺系統中故障或產生其他問題，例如接收到的濃度測量不能代表工藝液體。通過在線監測，您總能獲得工藝液體中溶解臭氧濃度的真實測量值。監視器也可以很容易地拼接到現有系統中。由于濕式工作臺臭氧包括工藝需要特定水平的臭氧，因此使用在線傳感器非常重要。圖2顯示了帶有臭氧發生器和監視器的半導體濕式工作臺示例。
圖2:帶TAPI臭氧儀器的濕式實驗臺系統
零維護
由于其創新的傳感技術，470不需要維護，以保持傳感器運行在更佳性能。在濕式工作臺系統的定期預防性維護期間，每2-3年可以對傳感器和UV燈進行周期性調零。還包括吹掃端口，以避免電子設備所在區域內的冷凝，以幫助確保傳感器在濕式工作臺的壽命內運行。
輕松集成
為了集成到濕式工作臺系統中，470提供了幾種輸出方法，可以直接連接到PLC, PC或集成設備。如果首選模擬輸出，在購買時可以選擇0-5V dc或4- 20ma輸出。對于需要數字接口的系統，470可以通過RS232或RS485進行通信。470還可以連接到TAPI的SCI-552，以增強或創建完整的臭氧傳輸系統。四個額外的數字狀態輸出包括:傳感器正常狀態，無效讀數，燈低和電池臟。
通過多種通信方式，更少的維護和在線設計，470是增強濕式工作臺系統的完美選擇，具有溶解臭氧的所有優點。請記住，臭氧可以幫助減少或省略有害化學物質的使用，節省處理和處理它們所需的時間和金錢。臭氧還可以增強濕法工藝，與硫酸或氫氟酸相比，臭氧對環境更友好。
